爱发科(kē)真空泵油的特点以及应用(yòng)

　　目前，真空行业使用(yòng)的大多(duō)数机械真空泵都是用(yòng)爱发科(kē)真空泵油、水或其它聚合物(wù)等流體(tǐ)充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多(duō)种作用(yòng)。下面小(xiǎo)编就和大家介绍关于爱发科(kē)真空泵油的特点以及应用(yòng)的内容，欢迎阅读！

爱发科(kē)真空泵油的主要特点：

　　1.蒸汽压力极低

　　2.适当的粘度和良好的粘度温度特性

　　3.良好的热氧化安定性

　　4.具有(yǒu)很(hěn)强的耐腐蚀性和抗乳化性。

爱发科(kē)真空泵油的应用(yòng)：

　　1)多(duō)晶硅制备工艺中低压化學(xué)气相沉积；

　　2)半导體(tǐ)蚀刻工艺。腐蚀性气體(tǐ)和研磨颗粒常用(yòng)于这些生产过程中；

　　3)除了半导體(tǐ)工艺外，一些产生颗粒的工艺不希望颗粒与泵油混合，但如果希望颗粒从泵中排出，一定类型的干机械真空泵可(kě)以满足要求；

　　4)蒸馏、干燥、脱泡、包装等，在化工、医药、食品等行业，要防止有(yǒu)机溶剂造成污染，适用(yòng)于干式真空泵；

　　5)前级泵用(yòng)作一般无油清洁真空系统，防止油污。

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